| 機台型號 | AIM-432II | AIM-542II | AIM-652II |
| (X/Y/Z)量測行程 | 大視野:400*300*200 小視野:300*300*200 | 大視野:500*400*200 小視野:400*400*200 | 大視野:600*500*200 小視野:500*500*200 |
| 全機尺寸(mm) | 700X1130X1662 | 860X1222X1662 | 1026X1543X1680 |
| 機台承重量 | 30Kg | 40Kg | 40Kg |
| CCD | 大視野:2000W高分辨率數字CCD;小視野:160W高分辨率彩色數字CCD; | ||
| 鏡頭 | 大視野:0.16X雙遠心鏡頭;小視野:0.7-4.5X全自動變倍鏡頭 | ||
| 量測係統 | AIM- CNC 3D | ||
| 電源供給 | 220V+10%,50/60Hz | ||
| 光學尺分辨率 | 0.001mm,可顯示0.0001mm | ||
| X/Y量測精度 | 大視野:(5+L/200) um;小視野:(2.5+L/200)um | ||
| 重複性 | 2um | ||
| 適合環境 | 溫度20-25攝氏度,濕度50%-60% | ||